高増潔が東京大学で指導教員を務めた修士論文のリストです．
- 増田秀征（2019年9月）：光コムパルス干渉とエタロンを用いたボールレンズターゲットの三次元絶対計測技術に関する研究
- 郭翔（2018年3月）：大型非球面形状のナノメートル測定－オートコリメータ自己校正の評価－
- 原昌平（2018年3月）：光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法
- 宮地純平（2018年3月）：マルチビーム角度センサを用いた小型非球面の形状測定
- 岩城祐輝（2017年3月）：斜め切りCD-SEM画像を用いた3次元半導体構造の計測に関する研究
- 木村文紀（2017年3月）：光周波数コムレーザを利用した座標計測による非接触絶対計測手法の開発
- 岩郷佑美（2016年3月）：大型非球面形状のナノメートル測定－機上自己校正法及び三次元化－
- 加地史弥（2015年3月）：光触媒ナノ工具に関する基礎的研究 ―工具位置の高安定制御・観察装置の開発―
- 田原弘之（2015年3月）：エバネッセント露光型ナノ光造形に関する研究 ―窒素パージ型露光システムによるSub-μm薄膜の多層積層の実現―
- 石川恭平（2014年3月）：大型非球面形状のナノメートル測定―広測定範囲オートコリメータ用いた形状測定―
- 沖藤春樹（2014年3月）：STEM画像を用いた半導体構造のナノスケール形状測定
- 尾上太郎（2013年3月）：光周波数コムを用いた粗面物体の精密計測技術に関する研究
- 高村智彦（2011年9月）：高精度CMMの開発 －多点法によるステージの校正の不確かさ評価－
- 重城聡美（2012年3月）：大型非球面形状のナノメートル計測 －誤差低減手法の検討及び三次元化－
- 松井健太（2012年3月）：タンデム低コヒーレンス干渉を用いた微小内径の非接触測定技術の開発
- 池田裕一（2011年3月）：近接場光を用いたナノインプリント加工薄膜の精密膜厚測定に関する研究
- 長野敏宗（2011年3月）：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究 －面内形状制御同期積層プロセスの実験的検討－
- Agustinus Winarno（2011年3月）：Non-contact absolute measurement of gauge blocks using a tandem low-coherence interferometer
- 桑原一樹（2010年3月）：STEM画像を用いた半導体線幅のサブナノメートル校正に関する研究
- 長尾天平（2010年3月）：局在プラズモン共鳴を利用したナノインプリント残膜厚計測装置の開発
- 王韜（2010年3月）：ソフトウェア誤差伝播による座標測定の不確かさ推定
- 飯田文明（2009年3月）：自律神経活動評価に向けた血圧変動の非線形解析
- 澤内佑介（2008年3月）：結晶格子像を利用した半導体線幅標準校正法
- 吉田敬亮（2008年3月）：平面移動トレイシステムの開発－6自由度パラレルメカニズムによる高機能位置決め－
- 妹尾達也（2007年3月）：平面リニアモータを用いた6自由度パラレルメカニズム
- 渡邉健太郎（2007年3月）：マルチメカノオプトプローブを用いた次世代半導体レジストの形状計測法
- 麻生匡（2006年3月）：TiO2ナノ粒子を用いた複雑微細構造創製法に関する基礎的研究
- 立花誠（2006年3月）：呼吸位相領域における心拍変動解析手法の開発
- 清澤圭太郎（2005年3月）：リング状スリット光を用いた三次元ナノ変位測定装置の開発
- 臼杵深（2004年3月）： リング状スリット光を用いた三次元変位測定
- 古川健太（2004年3月）： 高精度な呼吸性洞性不整脈の抽出法を用いた生体負荷の評価
- 陳欣（2004年3月）： 小型平面リニアモータを用いた移動トレイシステムの開発
- 野坂健一郎（2003年3月）：三次元測定機による形状偏差を考慮した形状測定
- 無類井格（2003年3月）：パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発
- 石川博隆（2002年3月）：パラレルCMMの開発－高精度モデルでの校正－
- 山口晃（2002年3月）：nano-CMMの開発－ステージ挙動の解析－
- 佐藤理（2001年3月）：パラレルCMMの校正
- 藤原正直（2001年3月）：nano-CMMの開発－精度の向上のための新しい機構の開 発－
- 直居裕和（2000年3月）：nano-CMMの開発～フリクションドライブの応用とその評価
- 西田玄（2000年3月）：ボール間距離測定システムの開発
- 郭志徹（1998年9月）：吸気型ボールプローブの開発
- 郭必偉（1998年9月）：三次元測定機における測定の不確かさの評価
- 森岡昌宏（1999年3月）：多関節型座標測定機の絶対校正
- 吉川暢広（1999年3月）：パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の機構と校正手法の研究
- 徳田正章（1998年3月）：nano-CMMの開発
- 野上健士（1998年3月）：ナノプローブシステムの開発
- 小澤聡（1996年3月）：nano-CMMの基本構成の開発
- 福田逸郎（1996年3月）：座標計測における幾何偏差の統計的処理手法
- 稲垣康弘（1995年3月）：形状処理ソフトウェアのテスト手法に関する研究
- 遠藤亘（1995年3月）：ハンドリング動作における摩擦に関する研究