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業績

解説論文，講演

2020.08.08

高増潔が関係した解説論文および講演（2020年4月）

  1. ISO/TC 213国内委員会: ISO/TC 213（製品の幾何特性仕様及び検査：GPS）東京会議報告, SQ標準化と品質管理 71 (1), 2018, 25-28

  2. 高増潔: 製品の幾何特性仕様 サイズとサイズ公差, 日本ねじ研究協会誌 48 (8), 2017, 223-226
  3. Kiyoshi Takamasu, Wiroj Sudatham: High-Accuracy Absolute Length Measurement Using an Optical-Comb Pulsed Interferometer: Verification of Coordinate Measuring Machines, IJAT 11 (5), 2017, 682-690
  4. 編集委員　高増潔，谷村吉久，澤田克秀: 精密測定の歴史　沢辺雅二氏遺稿集, 2017
  5. 高増潔: 巻頭言　精密測定の歴史と沢辺雅二氏の功績, 精密測定の歴史　沢辺雅二氏遺稿集, 2017, 1-2
  6. 高増潔：（特別講演）絶対距離測定の高精度化と応用－長さのトレーサビリティからパルス干渉計測へ－, 精密工学会中国四国支部特別講演会，広島市, 2017

  7. 高増潔，スダータムウィロート：光コムによる絶対距離測定と三次元計測技術, 光技術コンタクト 54 (5), 2016, 18-24
  8. 高増潔：幾何特性仕様と幾何公差の解釈および測定方法, 検査技術 21 (9), 2016, 1-4
  9. 橘一輝，道畑正岐，高増潔，高橋哲：日本機械学会 生産加工・工作機械部門部門優秀講演論文賞, 日本機械学会 生産加工・工作機械部門ニュースレター No. 50, 2016, 7-8

  10. 高増潔：TEM およびCD-SEM 画像によるFinFET の形状測定，次世代リソグラフィワークショップ2015（NGL2015）, 東京工業大学，2015，23-24
  11. 高増潔：図面どおり三次元をつくれるか？　幾何公差とメトロロジー，日本機械学会誌118 (1164)，2015，656-659
  12. 高増潔：知的計測技術によるナノスケール三次元形状測定，精密測定展2015，精密測定セミナー，パシフィコ横浜，2015，67-70
  13. 高増潔：精密測定の基礎と三次元測定への応用：トレーサビリティと測定不確かさ適用技術，日本テクノセンター講習会，市ヶ谷，2015
  14. 高増潔：STEMによる半導体構造の形状測定, 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会第74回研究会, 2014, 21-25

  15. 高増潔：トレーサビリティと精密測定の歴史，精密測定の条件，精密測定における測定不確かさ, 精密工学会/精密測定技術振興財団第367回講演会「“はかる”を知る，精密測定の理論と最新動向」, 2014, 1-11
  16. 大西徹，坂本将也，中西正一，徳田祐樹，高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究－低熱膨張ブロックゲージを用いた温度補正の評価－, 技研所報 50 (1), 2014, 67-70
  17. 高増潔：参照計測ためのTEM画像を用いたレジストおよびFinFETの形状測定, 次世代リソグラフィワークショップ2014（NGL2014）, 2014, 25-26
  18. 工藤良太，横関宏樹，高橋哲，高増潔：部門優秀講演論文賞表彰　Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift, 日本機械学会生産加工・工作機械部門ニュースレター 46, 2014, 8
  19. 高増潔：記念講演・精密測定の今後, 日本精密測定機器工業会　創立60周年記念誌　未久路, 2014, 30-36
  20. 高増潔：精密測定の今後, 日本精密測定機器工業会創立60周年記念講演会, 2014
  21. 大西徹，中西正一，高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究, 技研所報 50 (1), 2014
  22. 高増潔：技術論文・GPS規格の概要　－高精度の形状・大きさ・寸法を実現するためのGPS規格－, 日本精密測定機器工業会　創立60周年記念誌　未久路, 2014
  23. 高増潔：三次元測定技術の基礎と効果的な活用法, 日本テクノセンター, 2014
  24. 王肖南，松本弘一，高橋哲，高増潔：パルス干渉法による大寸法計測, Optronics 33 (3), 2014, 73-79
  25. 高増潔：光周波数コムの三次元測定機精度評価への応用, Optronics 33 (3), 2014, 87-91
  26. 陳梅雲，上田宗一郎，高橋哲，高増潔：マルチビーム角度測定を用いた真円度測定機，平成25年GMSI海外ワークショップ報告書，2014
  27. 高増潔：三次元座標測定機の基礎，NMIJ計測クラブCMMユーザーズクラブ講演会，2014

  28. 高増潔：多点法による誤差分離手法と不確かさ推定，第14回高エネ研メカ・ワークショップ報告集，2013，1-6
  29. 沖藤春樹，高橋哲，高増潔：フォトレジスト形状の断面STEM 画像からエッジを決定する方法，第3回ユーザーズミーティング（パーク・システムズ・ジャパン），2013, 1-2
  30. 大西徹，中西正一，高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究－温度ドリフトの評価および補正－，東京都立産業技術研究センター平成25年度研究成果発表会要旨集，2013, 121
  31. 大西徹，高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究（概要），機械振興協会技術研究所 技研所報 49 (2), 2013, 9-12
  32. 韋冬，高増潔，松本弘一：隣接したパルス列繰返し長を用いた長さ計測―新たな物差しを求めて―，光計測シンポジウム2013，2013
  33. 高増潔：三次元測定の現状と課題，カールツァイス東京ショールームオープンハウス，2013
  34. 大西徹，坂本将也，中西正一，徳田祐樹，高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究－低熱膨張と熱膨張係数付ブロックゲージを用いた温度補正の評価－，産業技術連携推進会議平成25年度知的基盤部会，2013

  35. 増沢隆久 , 高増潔：微細穴加工と計測の最前線（特集 微細穴の加工と計測），精密工学会誌 78(6)，2012，443-447
  36. 高増潔：精密工学科の近況，大樹　造兵精密同窓会誌No. 55，2012，3-6
  37. 高増潔：STEMを用いた半導体線幅測定および線形状測定のサブナノメートル校正，応用物理学会　次世代リソグラフィワークショップ（NGL2012），2012
  38. 高増潔：知的精密計測のものづくりへの展開－トレーサビリティとナノメートル標準－，日本機械学会　革新的工作機械技術に関する研究分科会，第3回研究分科会，2012
  39. 高増潔：光周波数コムを用いた絶対距離計測，精密工学会　大規模環境の3次元計測と認識・モデル化技術専門委員会第4回定例研究会，2012
  40. 高増潔：ナノメートル形状計測における不確かさ評価とナノメートル標準の構築（要旨），表面科学技術研究会2012，2012
  41. Kiyoshi Takamasu: A novel approach to measuring linewidth with subnanometer accuracy, SPIE Newsroom, 10.1117/2.1201110.003595, 2012, 1-3
  42. 高増潔：微細管内径および内面の計測，砥粒加工学会誌Vol. 56，No. 2，2012，94-97
  43. 高増潔：GPS規格の概要　－高精度の形状・大きさ・寸法を実現するためのGPS規格－，2012年度精密工学会春季大会シンポジウム，2012，31-34

  44. 大西徹, 高瀬省徳, 高増潔：幾何形状測定の信頼性向上に関する研究（概要），技研所報Vol. 47，No. 1，2011, 5-12
  45. 高増潔：日本東京大学高増潔教授受職我校兼職教授，北京理工大学News，2011年10月1日，http://www.bit.edu.cn/xww/xwtt/70033.htm，2011
  46. 大西徹 , 高瀬省徳, 高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究－マルチスタイラス測定におけるプロービングシステムの指示誤差の評価，技研所報Vol. 47，No. 1，2011，105-108
  47. 高瀬省徳，大西徹，高増潔：真円度測定機倍率校正用切欠き標準について，技研所報Vol. 47，No. 1，2011，109
  48. 高増潔：三次元測定機の課題，CMM技術交流会：TTDC，2011
  49. 高増潔：製品の幾何特性仕様（GPS規格）の最近の動向と幾何公差の解釈，日本テクノセンター，2011
  50. 高増潔：不確かさ算出持ち回り測定：ソフトウェアの誤差伝播による不確かさ解析，CMM公開講座，2011
  51. 高増潔：マイクロ・メゾ・ナノスケールの三次元形状計測，光技術コンタクト Vol. 49, No. 2，2011，4-9
  52. Kiyoshi Takamasu: Present Problems in Coordinate Metrology for Nano and Micro Scale Measurements, MAPAN – Journal of Metrology Society of India, Vol. 26, No. 1, 2011, 3-14

  53. 大西徹 , 高瀬省徳 , 高増潔：幾何形状測定の信頼性向上に関する研究（概要），技術所報 46(3)，2010，5-12
  54. 高増研究室：測定器の“不確かさ”評価，日刊工業新聞，2010年9月2日，2010
  55. 高増潔：精密測定における最小二乗法の使い方，精密工学会誌 Vol. 76, No. 10，2010， 1130-1133
  56. 高増潔：製品の幾何特性仕様（GPS）の国際標準化の動向，日本機械学会誌 Vol. 113 (1103)，2010，777-780
  57. 高増潔（原案作成委員会委員長）：JIS B0642:2010 製品の幾何特性仕様（GPS）－測定機の一般的な概念及び要求事項，2010
  58. 高増潔：巻頭言　光計測を工場で使うために，光学 39 (3)，2010，113
  59. 高増潔：精密計測の基礎，三次元計測の基礎，グラインディングアカデミー，砥粒加工学会，2010

  60. 大西徹，高瀬省徳，高増潔：計測技術高度化に関する研究（概要），技研所報45(2), 2009， 5-14
  61. 大西徹，高瀬省徳，高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究－温度測定誤差を考慮した温度補正，（産業技術連携推進会議知的基盤部会第37回計測分科会），技研所報 45(2)，2009，56-58
  62. 高橋哲，臼杵深，高増潔：定在エバネセント波照明による超解像イメージング（回折限界を超えて），光学 38(7)，2009，364-372
  63. 高増潔：マルチプローブによるナノメートル形状測定，マイクロ/ナノシステム研究専門委員会講演，2009
  64. 高増潔：製造業のグローバル化対策の要－GPS（製品の幾何特性仕様）規格の動向－，標準化と品質管理全国大会2009，2009，2-10
  65. 高増潔：GPS規格フォーラム－図面のあいまい性をなくしグローバル化した生産システムへ対応する－，日本機械学会GPS規格フォーラム（No.08-146），2009，1-2
  66. 高増潔：事業部会の活動状況，精密工学会誌，75（1），2009，173
  67. 高増潔：知的ナノ計測専門委員会活動報告，精密工学会誌，75（1），2009，192
  68. 高増潔：euspenの活動状況，精密工学会誌，75（1），2009，195
  69. 高増潔：ナノ計測，精密工学会誌，75（1），2009，91-92
  70. 高増潔：製品の幾何特性仕様（GPS）の考え方，機械の研究，61（3），2009，317-324
  71. 高増潔：ナノメートル計測とトレーサビリティ，産学人材育成パートナーシップ事業－マイクロ・ナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業イノベーション人材育成－講座 「先端精密工学の基礎」，2009
  72. 高増潔：GPS規格（製品の幾何特性仕様）の国際標準化，製品の幾何公差（GPS）の標準化に関する調査研究　すべり軸受とGPS規格－評価・検証を中心として，2009
  73. 高増潔：三次元測定機における測定，地域イノベーション創出共同体形成事業　公開講座　高度なものづくりのための形状計測技術　三次元測定機の賢い使い方，2009，5-24

  74. 高増潔：研究室紹介 東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻　知的ナノ計測分野　高増・高橋研究室－精密測定から標準確立と知的計測へ－，光アライアンス，2008.8，2008，59-61
  75. 高増潔：ナノスケールものづくりのための知的計測技術，計測と制御，47（9），2008，705-706
  76. 高橋哲，高増潔：メカノオプトプローブによるナノ形状測定，計測と制御，47（9），2008，713-719
  77. Introduction of Awards for 2007, JSPE Best Paper Awards, Precision engineering, 32, 3, 2008
  78. 2007年度（第4回）精密工学会論文賞の紹介，精密工学会誌，74 (7)，2008
  79. 高増潔：計測・測定技術の最新動向，日刊工業新聞，2008年10月30日，2008，38
  80. トレーサビリティ計測寄付講座，発足，月刊トライボロジー，252，2008，65
  81. 高増潔：基調講演　公差の基本的な考え方，公差体系の国際的動向，寸法公差や幾何公差を正しく効率的に設定するための　はじめての公差解析セミナー，2008，1-23
  82. 大西徹，高瀬省徳，高増潔：計測技術高度化に関する研究（概要），技研所報，44（2），2008，5-12
  83. 大西徹，高瀬省徳，高増潔：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究（第2報）直角誤差補正，技研所報，44（2），2008，81-85
  84. 青山藤詞郎，新井民夫，厨川常元，佐々木健，鈴木宏正，高増潔，竹内芳美，古川勇二，水野毅：精密工学会技術ロードマップ，2008，22-24
  85. 高増潔：幾何公差の基本的な考え方および関連規格の動向，東京都立産業技術研究センター・日本機械学会連携事業　ものつくりに役に立つ幾何公差の考え方，2008
  86. 高増潔：三次元測定等の精密測定における研究動向 －精密測定の条件と三次元座測定の不確かさ－，東京精密計測センターオープン記念講演，2008
  87. 高増潔：国際交流委員会　アジアにおける精密工学会（ASPEN）のスタート，精密工学会誌，74（1），2008，44
  88. 高増潔：GPS規格（製品の幾何公差仕様）による測定・評価のコンセプト, 日本機械学会セミナー「GPS規格（製品幾何特性仕様）を用いた測定・評価」, 2008, 1-8
  89. 高増潔：知的計測技術によるメソスケール形状測定，精密工学会誌，74（3）, 2008, 213-216

  90. 高増潔：広報委員長退任の挨拶　「今後の広報活動の発展を願って」, 学内広報　1355，2007.4.11, 2007, 45
  91. 高橋哲，奥野将樹，高増潔：光触媒ナノ粒子を用いたマイクロ三次元金属構造の創製－三次元ビームスキャンによるマクロ立体構造の直接描画－, 光アライアンス，Vol.18, No.5, 2007, 28-31
  92. Introduction of Awards for 2006，精密工学会論文賞の紹介, Precision Engineering, 31, 3, 2007
  93. 高瀬省徳，大西徹，高増潔：計測標準高度化に関する研究（概要），技研所報 Vol.43, No.2 (134), 2007, 9-16
  94. 高増潔：製品の幾何特性仕様の基礎的知識, 日本機械学会　ワークショップ　ISO・幾何公差・表面性状の規格体系のコンセプト, 2007, 283-284
  95. 高増潔：三次元座標測定概論－精密測定の条件と三次元座標測定の不確かさ－, 精密工学会講習会「実験・評価機器マスターへの道　その3　－差のつく三次元座標測定活用法－」, 2007, 1-5
  96. Kiyoshi Takamasu: Nanometrology: CD-AFM, Nano-CMM and Multi-Ball-Cantilever AFM, Chungnam National University, Daejeon, Korea, 2007, 1-20
  97. 高増潔：幾何公差の目的と効果, 日経ものづくり　幾何公差セミナー, 2007, 1-17
  98. 高増潔：研究開発の原点　ものづくりのための計測技術，InterLab 2007年1月号，2007，39-42
  99. 高増潔：広報委員長　新年の挨拶　東京大学の進むべき方向を社会に示す広報の重要性，学内広報　1350，2007，34
  100. 高橋哲，高増潔：ナノ・マイクロファブリケーションにおける機能表面の先端光計測技術，月刊トライボロジー No.234，2007，19-21
  101. 高増潔：東京大学電子ジャーナル事情　学術の世界に広がる「電子化の波」，淡青19，2007，22-23

  102. 木村文彦，新井民夫，高増潔，鈴木宏正，太田順，山本晃生，小谷潔，杉正夫，佐藤洋一，新誠一：実世界情報システムプロジェクト　アテンティブエンバイロンメント研究グループ，21世紀COE　情報科学技術戦略コア　平成17年度　報告書，2006，129-132
  103. 高増潔，小谷潔：平面リニアモータに関する研究成果　－歯車車輪式平面リニア移動機構のワイヤレス化－，21世紀COE　情報科学技術戦略コア　平成17年度　報告書，2006，143-146
  104. 高橋哲，高増潔，三好隆志：エバネッセント光を利用した微細加工と高分解能計測（特集:ナノ材料にみる近接場光学の新展開），光アライアンスVol.17，No.6，2006，1-5
  105. 高瀬省徳，大西徹，高増潔：計測標準高度化に関する研究（概要），技研所報Vol.42，No.2，2006，13-20
  106. 高増潔：ナノ三次元形状測定の課題，ZYGO Metrology Seminar 2006，2006，1-27
  107. 高増潔：グラビアとインタビュー　精密工学の最前線　ナノスケール知的計測の確立を目指して，精密工学会誌，72（10），2006，1181-1184
  108. 高増潔：知的ナノ計測技術の現状と将来展望，ナノ計測技術徹底解説　講演予稿集，2006，9-48

  109. 高橋哲，梶原優介，高増潔：ナノ光造形法への新しいレーザー応用技術，プラスチック成形加工学会誌「成形加工」，17（3），2005，161-166
  110. 高瀬省徳，大西徹，高増潔：計測標準高度化に関する研究（概要），機械振興協会技術研究所「技研所報」，41（2）130，2005，13-20
  111. 高増潔：GPS(製品の幾何特性仕様）に基づいた検証方法－幾何公差の解釈と三次元測定機の不確かさ評価，設計工学，40（2），2005，79-85
  112. 高増潔：GPSに基づいた検証方法，第9回設計フォーラム，2004，20-28
  113. 高橋哲，梶原優介，高増潔：ナノ光造形法への新しいレーザー応用技術，成形加工，17（3），2005，161-166

  114. 三好隆志，高増潔，高偉：知的ナノ計測研究分科会　ナノスケールの知的計測の確立を目指して，精密工学会誌，70（8），2004，1028-1029
  115. 高瀬省徳，大西徹，高増潔：計測標準高度化に関する研究（概要），技研所報，40（3），2004，17-23
  116. 高増潔，高橋哲：研究室紹介　精密測定から標準確立と知的計測へ，精密工学会誌，70（11），2004，1377-1378
  117. 高増潔：幾何公差とISO/GPS規格，幾何公差方式とは何か，ISO/GPS規格セミナー，日本規格協会，2004，2-19
  118. 高増潔：光パターン投影を用いた人体形体の3D計測，2004年度精密工学会春季大会シンポジウム資料，2004，107-111

  119. 高増潔，古谷涼秋：ナノCMMにおけるナノプローブシステムの開発，マイクロマシン, 44，2003，3
  120. 高増潔，古谷涼秋：ナノCMMにおけるナノプローブシステムの開発，マイクロマシンセンター　第9回研究成果報告書，2003，11-18
  121. 上野滋，小西和正，粟野陽一，高瀬省徳，大西徹，五嶋裕之，松丸誠一，高増潔：計測標準高度化に関する研究（概要），技研所報，39（2）（124）（Sept.，2003），17-28
  122. 高増潔：2・3次元のインターフェース技術，平成14年度　スケールインターフェースに関する査研究事業報告書，2003，95-110
  123. 高増潔：アーティファクト値付けの不確かさ算出，歯車のナノレベル形状評価のための測定機の校正原器及びその原器に基づく校正方法の研究とその標準化　平成14年度事業成果，2003，134-144

  124. 高増潔：ナノメートル三次元測定機とナノプローブ，マイクロマシン No.40，2002，8
  125. 高増潔：ナノメートル三次元測定機とナノプローブ，マイクロマシン No.40，2002，8
  126. K. Takamasu: Final Research Report International Standard Development of Virtual CMM (Coordinate Measuring Machine), NEDO, 2002
  127. バーチャルCMM（三次元測定機）の国際標準化，NEDO国際共同研究（1999年度～2002年度）

  128. 高増潔：バーチャル三次元測定機，計測と制御，40（11），2001，801-804
  129. 高増潔：三次元測定機の不確かさ推定方法とその国際規格化，機械と工具，45（3），2001，66-70
  130. 高増潔：三次元測定機の不確かさ推定方法とその国際規格化，機械と工具，45（3），2001，pp. 66-70
  131. 高増潔：測定の不確かさと三次元測定機，東大精研会基礎講座，2001

  132. 高増潔：上野滋著　「はじめての計測技術」，機械と工具，2000
  133. 高増潔：身体形態特性データの計測・データベース化手法に係る標準　第5章　人体計測における不確かさの評価に関する研究開発，NEDO受託成果報告書，2000，pp. 111-154
  134. 高増潔:：システム創成学科における新しい教育，Vision2020シンポジウム：光学教育への挑戦，2000，pp. 39-45
  135. 高増潔：光を応用した三次元形状計測，画像応用技術専門委員会報告，15（1），2000，pp. 25-34
  136. レゴパラレルCMM関係の引用（精密工学会誌，66（2），2000，pp. 200）と新聞記事（朝日新聞2000年4月24日夕刊）

  137. バーチャルCMM（三次元測定機）の国際標準化，NEDO国際共同研究　新聞記事（日経産業新聞1999年8月20日），1999
  138. 高増潔，平木雅彦：東京大学大園・高増研究室―パラレルCMMとそのプロトタイピング―，1999年度精密工学会秋季大会学術講演会パネル展示，1999

  139. 大園成夫：3次元形状測定の現状と課題，機械と工具，42（10），1998，pp.14-16．
  140. 高増潔：3次元形状測定とISOの動向，機械と工具，42（10），1998，pp.17-21．
  141. 高増潔，平木雅彦：パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の実際，機械と工具，42（10），1998，pp.28-32．
  142. 高増潔：座標計測の現状と問題点，超精密，8，1998，pp.69-76．
  143. 高増潔：測定ロボット，工学情報，590，1998，pp.9-10.

  144. 高増潔，平木雅彦：パラレルCMM（パラレルメカニズムを用いた三次元座標測定機），精密工学会誌，63（12），1997， pp.1676-1679．
  145. 高増潔：座標計測の現状と問題点，超精密加工専門委員会第34回研究会資料，1997，pp.11-17
  146. 高増潔，生産加工技術の新しい動き－計測機器－，機械と工具，41（1），1997，pp.53-57．

  147. 高増潔，三次元測定機とデータ処理の諸問題，画像応用技術専門委員会サマーセミナー’96，1996，pp.19-25．
  148. 高増潔，アクティブ光学素子による形状測定の現状，画像応用技術専門委員会10周年記念講演，1996，pp.18-22．

  149. 高増潔，nano-CMMの開発，機械と工具，39（10），1995，pp.28-32．
  150. 高増潔，進展する3次元測定技術，M & E，1995，pp.148-154．

  151. 高増潔，画像計測の現状と展望，Qualitech World，3（4），1993，pp.8-11．
  152. 高増潔，ロボットの3次元相対変位の高精度測定方法，東京電機大学総合研究所年報1992，1993，pp.73-76．

  153. 高増潔，3次元測定機のソフトウェアの動向，計量管理，40（6），1992，pp.258-263
  154. 高増潔，計測技術 －さらに進んだデジタル化とコンピュータ処理－，機械と工具，33（1），1989，pp.56-62．
  155. 高増潔，三次元測定の自動化とデ－タ処理，機械と工具，30（12），1986，pp.38-42．
  156. 高増潔，DECUS-C言語による画像処理システム，DECUS論集1984年版，1984，pp.57-60．
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